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這是一款基于RDL First WLP 行業(yè)點(diǎn)膠需求開發(fā)的高穩(wěn)定性高精度、集晶圓自動(dòng)上下料功能的點(diǎn)膠系統(tǒng)。該系統(tǒng)集晶圓自動(dòng)上下料與晶圓級(jí)噴膠功能于一體，可全自動(dòng)實(shí)現(xiàn)晶圓搬運(yùn)、對(duì)位、預(yù)熱、作業(yè)加熱、噴膠、散熱等功能。兼容國(guó)際半導(dǎo)體通訊協(xié)議，同時(shí)配置AMHS自動(dòng)上下貨機(jī)器人接口，匹配信息化管 理要求與無(wú)人化管理趨勢(shì)，點(diǎn)膠區(qū)域達(dá)到 550mmx510mm。
體點(diǎn)膠.jpg)
工作機(jī)位作業(yè)前后檢測(cè)，末站專業(yè)檢測(cè)，實(shí)現(xiàn)多重防呆。
同時(shí)配備自動(dòng)上料機(jī)、自動(dòng)下料機(jī)，匹配信息化管理要求與無(wú)人化管理趨勢(shì)。
作業(yè)軌/傳輸軌分離，單臺(tái)停機(jī)不影響整線運(yùn)行。
實(shí)時(shí)MES系統(tǒng)對(duì)接，上傳生產(chǎn)狀態(tài)信息，系統(tǒng)異常狀態(tài)報(bào)警
對(duì)溫度進(jìn)行精細(xì)管控并自動(dòng)校正
百級(jí)防塵設(shè)計(jì) 專用于環(huán)保車間 ESD防靜電設(shè)計(jì) 防震動(dòng)
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